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微波等离子清洗机与传统湿法清洗相比有什么特点?

发表时间:2022-07-13  |  点击率:294
  微波等离子清洗机作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。简述了微波等离子清洗机的原理及特点,介绍了设备的构成、清洗工艺和模式,对微波导入和微波源与负载的匹配两个关键技术进行了研究;通过工艺验证,微波等离子清洗降低了接触角度,提高了引线键合强度。

 

  等离子体是物质存在的一种基本形态(被称为物质的第四态),是由原子,电子,分子,离子或自由基组合而成,等离子清洗就是通过物理、化学作用对被清洗物表面进行处理,实现去除分子水平污染物的一种工艺过程,同时也可提高其表面活性。

  微波等离子发生原理:
  微波等离子清洗机是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在正负极磁场作用下的谐振腔体内产生等离子体,该谐振腔体位于反应仓体旁边,磁控管连接微波发生器,因为整个放电过程不需要正负电极,所以产生自偏压极小,从根本上避免了静电放电损伤。

  清洗特点:
  微波等离子清洗机与传统湿法清洗相比,不需要使用大量的酸、碱、有机溶剂等,不会给环境带来任何污染,有利于环保和人员安全,同时该清洗技术的均匀性、重复性和可控性非常好,具有三维处理能力,可以进行方向选择。微波等离子清洗机与低频或射频放电产生的等离子体相比,它的特点是没有正负电极,自偏压很小,不会产生放电污染,有效防止静电损伤;等离子密度高,生产效率高;离子运动冲击小,不会产生UV(紫外线)辐射,尤其适用于一些敏感电路的制程清洗。