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关于光刻机的用料,以下有详细说明

发表时间:2023-01-08  |  点击率:39
  光刻机应用的光刻技术是将二维图案转印到平坦基板上的方法。可以通过以下两种基本方法之一实现图案化:直接写入图案,或通过掩模版/印章转移图案。限定的图案可以帮助限定衬底上的特征(例如蚀刻),或者可以由沉积的图案形成特征。
 
  通过计算机辅助设计(CAD)定义图案模式。多数情况下,这些特征是使用抗蚀剂形成的,可以使用光(使用光致抗蚀剂),电子束(使用电子束抗蚀剂)或通过物理冲压(不需要抗蚀剂,也叫纳米压印)来定义图案特征。图案的特征可以被转移到另一个层蚀刻,电镀或剥离。
 

 

  光刻机的用料:
  1、光刻胶:
  抗蚀剂是悬浮在溶剂中的聚合物。根据抗蚀剂的类型,可以使用紫外线或电子束选择性地将其除去。可以将所有抗蚀剂大致分为正抗蚀剂或负抗蚀剂,常见的是正抗蚀剂。在正性抗蚀剂中,在显影抗蚀剂后将暴露的区域除去。在负性抗蚀剂中,在显影抗蚀剂后仍保留了暴露的区域。
  不同类型的光刻使用不同类型的抗蚀剂,因此您需要检查哪种抗蚀剂适合您的工艺。
 
  2、显影剂:
  显影剂是用于在曝光后蚀刻掉光致抗蚀剂的基础。几种可用的显影剂:AZ 726、AZ 300、AZ 400K、MF 319和Microposit Developer。可以在设备上使用显影剂。需要检查每个设备是否允许或允许哪些显影剂。
 
  3、掩模版:
  掩模版用于在曝光期间阻挡光线,因此仅曝光所需图案内的光刻胶。如果在多个样本中需要相同的模式,这将很有用。掩模是具有一层铬和一层光刻胶的玻璃或熔融石英衬底。光刻胶以所需的图案曝光,然后显影。之后,使用铬蚀刻在掩模中设置图案。