在纳米科技与精密制造领域，环境振动已成为制约高精度设备性能的核心瓶颈。Herz
电镜防振台凭借其突破性的主动隔振技术，以毫秒级响应速度与全频段振动抑制能力，成为全球顶尖实验室保障设备稳定性的选择方案。
1.核心性能：六自由度全频段隔振
电镜防振台采用主被动复合隔振架构，其主动隔振系统覆盖1-200Hz频段，被动隔振系统则针对200Hz以上高频振动实现深度衰减。通过内置的压电加速度传感器与压电换能器，系统可实时捕捉六个空间方向的振动信号，并在5-20毫秒内生成反向补偿力，消除振动干扰。
2.技术突破：无低频共振与零气压依赖
传统被动隔振系统在低频段（<10Hz）易产生共振峰，而Herz通过闭环反馈控制技术，将系统机械共振频率抑制至可忽略水平。其模块化设计无需气压支持，避免了气源波动对隔振性能的影响，同时功耗仅27W，较同类产品降低40%。在原子力显微镜（AFM）测试中，Herz防振台将探针扫描噪声从3nm降至0.5nm，使纳米级表面形貌测量精度达到原子级。
3.场景适配：从实验室到工业产线
Herz提供AVI-200/400/600三大系列，覆盖300kg-1200kg负载需求，并支持桌面式与落地式双重安装模式。在半导体光刻机应用中，AVI-600防振台将掩模版定位误差从±15nm降至±3nm，使28nm制程良率提升12%。其模块化扩展设计允许用户根据设备尺寸自由组合隔振单元，某生物实验室通过拼接4台AVI-400模块，成功为冷冻电镜搭建了12m²的超稳工作平台。
4.长期价值：稳定运行与智能监控
电镜防振台采用航空级铝合金框架与磁性不锈钢蜂窝面板，静态柔度垂直方向仅1μm/N，水平方向2μm/N，确保设备长期承重不变形。系统内置的多路复用信号输出功能，可实时监测各维度振动衰减效果，某材料实验室通过示波器数据发现，安装防振台后，环境振动对电子背散射衍射（EBSD）分析的影响从±2%降至±0.3%。
5.电镜防振台系列外观示意图
从扫描电镜到原子力显微镜，从光刻机到白光干涉仪，电镜防振台以毫秒级响应、全频段覆盖与智能监控能力，重新定义了精密仪器环境控制的标准。其技术突破不仅为纳米科技提供了稳定的研究平台，更成为推动工业4.0时代高精度制造的关键基础设施。
