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晶圆缺陷检测光学系统

简要描述:nSpec LS晶圆缺陷检测光学系统是研发和过程开发的理想系统。它按顺序运行多个扫描。友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力。而且,随着需求的发展,配方保存和修改也是非常方便的。

  • 产品型号:nSpec LS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-06-09
  • 访  问  量: 183

详细介绍

  本产品主要是用于检测晶圆表面的缺陷。是一套实用的晶圆缺陷检测光学系统。无论用户对样品检验有什么具体要求,我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。
 
  nSpec LS是研发和过程开发的理想系统。它按顺序运行多个扫描。友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力。而且,随着需求的发展,配方保存和修改也是非常方便的。
 
  1. 半自动晶圆缺陷检测功能
 
  ·基板,外延和图案化晶圆
 
  ·透明和不透明的材料
 
  ·在胶片胶带,托盘,凝胶包装或蛋饼形包装上模切
 
  ·光罩
 
  ·样品碎片
 
  2. 系统特征
 
  ·多种分辨率设置,范围从0.25 µm及更高
 
  ·快速扫描
 
  ·可定制的缺陷报告
 
  ·各种样品夹头可满足特定需求
 
  ·对缺陷或感兴趣的特征进行检测和分类的鲁棒分析
 
  ·检查和审查程序
 
  ·多系统同步
 
  ·占地面积小,设施要求zui少
 
  ·机架安装控件
 
  3. 系统参数
 
  重量:318 kg
 
  外观尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
 
  zui小气压:24 in. Hg (70 kPa)
 
  电源:110v/220v, 3.5 amps
 
  光学器件:
 
  照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
 
  光源:白光LED(也可选其他)
 
  物镜倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用户可选
 
  工作台:
 
  典型行程:200 mm,X和Y方向
 
  定位:带有闭环编码器的线性伺服电机(分辨率为50 nm)
 
  重复性:+/- 0.5 µm
 
  行程平整度:30 µm
 
  结构:精密地面滚道和交叉滚子轴承
 
  支撑平台:显微镜/重型底座集成到隔离台中
 
  中心负载能力:2.27 kg
 
  重量:11.33 kg
 
  尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
 
  备选功能:
 
  AFM原子力显微镜:可根据要求提供规格
 
  SECS/GEM
 
  透射光
 
  自动传送晶圆片
 

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