电容式位移传感器探头

什么是电容传感器？

电容传感器是一种通过测量两个平行板之间线性位移来工作的装置，其中一个板是传感器本身，另一个板是传感器所测量的物体——即目标物。

典型的电容传感系统

- 电容探头，也称为“传感器探头"，是一种金属或陶瓷外壳，内部装有电容传感器，用于检测目标物体。
- 测量模块，也称为“测量电路板"，包含传感器的驱动电子元件，并提供传感器的模拟输出信号。
- 测量电路板输出的模拟信号通常连接至客户计算机中的A/D（模数）转换卡。

传感器构造

如果没有屏蔽环（保护电极），电场线可能会延伸到传感器之外，并与其他接地表面或电场发生相互作用。通过使屏蔽环的电场与传感器同相驱动，传感器便只能与所需的目标形成电场。

主动式与被动式电容传感器

-被动式传感器适用于大多数应用场合。其探头内部不含驱动电子元件，因而具有出色的稳定性和线性度。

-主动式传感器在探头内包含特殊的驱动电路，专为需要高分辨率和高测量带宽的“高动态"应用而设计。

被动式电容探头

主动式电容探头

定制探头

探头可以通过多种方式进行定制
-根据客户需求定制探头尺寸或形状
-带斜面切割的探头前端
-采用通孔式安装而非夹持式安装的探头
-高稳定性选项——可与4810型高稳定性测量仪选件配套使用

特殊用途探头

-陶瓷探头适用于高稳定性应用场合
-在被动式探头设计中可使用因瓦合金（Invar）以提高热稳定性
-针对晶圆接地不良的应用场景，提供可“补偿"的探头选项