３结果与讨论３.１显影时间影响经过无掩模光刻机曝光后，目标图案已转移至ＩＴＯ玻璃上。将ＩＴＯ玻璃放置于加热板上进行加热，烘除光刻胶中的残留溶剂、水分，使光刻胶与ＩＴＯ玻璃结合更加紧密，此时，经过曝光的光刻胶与未曝光的光刻胶在显影液中会存在明显的溶解速度差。将自然冷却后的ＩＴＯ玻璃浸没于ＳＵ－８光刻胶专用显影液中，由于本实验中采用的光刻胶为负胶，因此显影目的是为了除去曝光区域以外的光刻胶。该方法的核心问题是控制显影时间。图２为经过不同显影时间后，在Ｔｉ－Ｅ显微镜下观察到的光刻胶...

厚度电阻率测试是一种用于测量材料电阻率的方法，它可以帮助工程师评估材料的质量和可靠性。该测试通常通过将两个探头放在材料的表面上，然后测量它们之间的电阻来完成。厚度电阻率测试有以下几个特点：1.非破坏性：与其他测试方法不同，它是一种非破坏性的测试方法。这意味着对于需要保留完整性、外观或功能的材料，您可以快速检查其电阻率而无需损坏样品。因此，它是一种非常有用的测试方法，尤其适用于生产线上的大批量材料测试。2.精确性高：该测试可以提供非常准确的结果。通过使用精密加工的探头以及计算机...

１引言ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍｔｉｎｏｘｉｄｅ）又称氧化铟锡，是一种铟锡金属氧化物，因其具有光学透明性［１］、高导电性［２］、易加工性［３］及柔性潜力［４］等优点，目前在光电检测、生物芯片及微纳器件等领域得到了广泛应用，例如加工成热光伏系统滤波器［５］、红外辐射反射镜涂层［６］、表面等离子体共振材料［７］等。在实际应用中，ＩＴＯ通常需先加工成各种形状的电极，但由于曝光精度低、刻蚀工艺参数难以控制等原因，ＩＴＯ电极特征尺寸无法进一步降低。目前将ＩＴＯ加工成电极的方法多种多样，主要分...

主动减震台是一种地震工程中常用的结构控制技术，其主要作用是通过主动地对建筑物进行控制，以减小地震对建筑物的破坏，并保护人们的生命财产安全。该技术使用一系列的传感器、计算机、执行器等设备来实现对建筑物结构的实时监测和调节，从而有效降低地震对建筑物的影响。主动减震台的特点主要包括以下几个方面：1.高效的减震能力：主动减震台采用多种减震技术，如电液伺服阀、压电陶瓷等，可以实现高效的减震效果。与传统的被动减震技术相比，它可以更加精确地控制建筑物的振动，进而达到更好的减震效果。2.灵活...

可以的。随着半导体材料技术的发展，对硅片的规格和质量也提出更高的要求，适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺，使制片技术取得明显进展。新技术的导入，使SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此，硅片生产厂家也增加了对300mm硅片的设备投资，针对设计规则的进一步微细化。利用超声波清洗技术，在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动，带动清洗液形成细微回流...