微波等离子清洗机专为微电子表面清洁与改性设计,用于改善引线键合和芯片键合结合力,倒装芯片填充不足等封装制程,可用于处理各种电子材料,包括塑料、金属或者玻璃等。
微波等离子清洗机用途:
1、清洁金属接合焊盘;
2、改善晶片键合附着力;
3、晶片凸点之前清除污染;
4、去除氟和其他卤素污染;
微波等离子清洗机特性:
1、软件监控生产过程;
2、13.56MHz射频电源搭配自动阻抗匹配器;
3、产品放置治具灵活多变,可适应不同形状产品;
4、特殊不锈钢腔体及电极,生产过程中无粉尘产生;
5、具有极小的占地面积。
微波等离子清洗机技术参数:

