美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备：在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。

美国FSM 高温薄膜应力及基底翘曲测试设备：美国FSM成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备。

QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 （SD-OCT） 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合，可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高达 100μm）和轴向分辨率 （5nm） 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。

StrainScope Flex可调式实时应力仪 产品具有测量速度快、精度高、重复性好等特点，对大尺寸样品可拼接测量。其应力测量设备用户包括肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。应用领域包括光学材料、医用包装材料、高分子类密封材料等。

实时型StrainScope S3/S4 应力仪 产品具有测量速度快、精度高、重复性好等特点，对大尺寸样品可拼接测量。其应力测量设备用户包括肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。应用领域包括光学材料、医用包装材料、高分子类密封材料等。

拼接型StrainMatic stepper应力仪 产品具有测量速度快、精度高、重复性好等特点，对大尺寸样品可拼接测量。其应力测量设备用户广，用户包括肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。应用领域包括光学材料、医用包装材料、高分子类密封材料等。