美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备：在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。

美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪：美国FSM成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备。

FSM413红外激光测厚仪主要产品包括:光学测量设备:三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力测量设备、 红外干涉厚度测量设备、电学测量设备:高温四探针测量设备、非接触式片电阻及漏电流测量设备、金属污染分析、等效氧化层厚度分析（EOT）

FSM413 红外干涉厚度测量设备 主要产品包括:光学测量设备:三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力测量设备、 红外干涉厚度测量设备、电学测量设备:高温四探针测量设备、非接触式片电阻及 漏电流测量设备、金属污染分析、等效氧化层厚度分析（EOT）

美国FSM 高温薄膜应力及基底翘曲测试设备：美国FSM成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备。