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美国Microsense 位移传感器

简要描述:美国Microsense 位移传感器提供高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案,用于测量硬盘驱动马达,气动轴承转子,X-Y样品台准确度,光盘,汽车零部件和机床等测量。

产品目录
详细介绍
品牌其他品牌应用领域电子,交通,航天,汽车,电气
  非接触式高分辨率近距离位移测量
 
  美国Microsense 位移传感器 公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)开创了高辨率电容式位移传感器的先河,致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。
 
  美国Microsense 位移传感器特性
 
  1.完全非接触式电容式微位移测量—*准确的电子感应技术, 无损样品测量
 
  2.*优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米
 
  3.高准确性,高灵敏性测量,*高精度可达0.5nm。
 
  4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响
 
  5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定  位,设备自动聚焦测量(微影设备,原子力显微镜,光罩探测,图像确认,LCD生产设备…)
 
  Gauge 型号
 
<strong><strong><strong><strong><strong><strong>电容式位移传感器</strong></strong></strong></strong></strong></strong>
 
 
<strong><strong><strong><strong><strong><strong>电容式位移传感器</strong></strong></strong></strong></strong></strong>
  
<strong><strong><strong><strong><strong><strong>电容式位移传感器</strong></strong></strong></strong></strong></strong>
  4800系列            5800系列6800系列8800系列       6360厚度测量系统
 
  4800系列    以至优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备
 
  5800系列    以高动态测量著称--高分辨率测量,可达100Khz 带宽测量,可靠性测量甚至达触
 
  地物例如气动转子和马达
 
  6800系列    拥有皮米级别噪声分辨率
 
  8800系列   以拥有*好的线性和稳定性系统著称,测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率,超低
 
  噪声上乘的伺服定位反馈系统设计
 
  Mini系列      迷你压缩型传感器测量系统
 
  6360系列      非接触式,高精度测量硅片、CD、DVD、光盘厚度
 
  测量探头(Probe)形状
 
<strong><strong><strong><strong><strong><strong>电容式位移传感器</strong></strong></strong></strong></strong></strong>
      
<strong><strong><strong><strong><strong><strong>电容式位移传感器</strong></strong></strong></strong></strong></strong>
圆柱型测量探头       45°倾角测量探头      矩型测量探头          直角型测量探头
 
  圆柱型测量探头探头直径0.5mm 到5mm 可选
 
  45°倾角测量探头  可紧贴圆柱形被测物测量
 
  矩型测量探头  测量马达及轴向转动物时可提供*大分辨率
 
  直角型测量探头用于测量受限空间测量
 
  设备应用
 
定位测量系统应用:远程位置调节器的伺服反馈系统应用
 
  间距和位移测量应用 :空间测量及检测  轴向位移测量
 
  转动测量系统应用:马达精度和转轴转动测量  转轴测量计精度校准测量  直线和平面平台精度测量
 
  厚度测量系统应用:磁性介质厚度测量 光盘厚度测量
 
  自动聚焦和归零测量应用:半导体硅片测量
 
  振动测量系统应用:样品台精度振动测量 转轴振动精度测量 主动性防震系统反馈测量
 
  设备性能及主要参数
 
  1.量程:       ±25µm 到±1000µm满量程测量
 
  2.分辨率:   优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
 
  3.带宽:  1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选
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