薄膜应力测试仪是一种用于测量物体内部或表面应力的设备。它通常基于不同原理工作，包括应变计、压电传感器和光学原理等。
通过薄膜应力测试仪可以获得薄膜材料在制备、加工或使用过程中的应力分布情况，从而帮助工程师和研究人员了解薄膜材料的性能特征、稳定性和耐久性。这对于薄膜材料的设计、优化以及质量控制具有重要意义。
薄膜应力测试仪广泛应用于半导体、光电子、医疗器械、航空航天等领域，为材料研究、工程设计和生产制造提供了重要的测试和分析手段。随着技术的不断进步，薄膜应力测试仪的精度、灵敏度和测量范围也在不断提升，为相关领域的科研和工程实践提供了有力支持。
应变计是常用的应力测量仪之一。它利用材料在受力时产生的应变来测量应力。应变计将应变转化为电阻、电压或电流信号，并通过测量这些信号来确定应力水平。
压电传感器也被广泛用于应力测量。压电材料具有将机械应力转化为电荷或电压的特性。当施加应力时，压电传感器生成电荷或电压信号，该信号可以被测量和分析以确定应力值。
光学方法也可用于应力测量。例如，光栅法利用光栅的形变来测量应力。当物体受到应力时，光栅会发生形变，这种形变可以通过测量光栅上的光的位移来确定应力水平。
除了这些基本原理外，还有其他类型的应力测量仪，如超声波、磁性和热敏传感器等。这些测量仪器可以适用于不同的应用领域，包括工程、材料科学、航空航天和生物医学等。
德国ilis公司成立于1998年，专业研发制造高精度应力双折射分析软件与测量设备，高精度型StrainMatic M4应力测量仪采用成像式光弹原理，直接测量光延迟，可以快速给出高分辨率的高精度测量结果。可对玻璃、晶体、塑料等透明物体等内在残余应力进行测试，测试精度可达<0.1nm。
产品具有测量速度快、精度高、重复性好等特点，对大尺寸样品可拼接测量。其应力测量设备用户遍及*，用户包括肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。应用领域包括光学材料、医用包装材料、高分子类密封材料等。
主要产品有三大系列：M系列高精度型；Flex系列可试式实时应力仪；S系列实时型；M系列大口径拼接型；
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