欢迎来到岱美仪器技术服务(上海)有限公司网站!
咨询热线

0769-89818868

当前位置:首页  >  产品中心  >    >  晶圆/微流控缺陷检测  >  Nanotronics nSpec Macro微流控缺陷检测

微流控缺陷检测

简要描述:微流控缺陷检测 Nanotronics nSpec Macro可以照亮样品的整个面,或设置照明角度和/或离散照明矢量。 明场,暗场,正交和可配置的倾斜照明角度与可单独配置的LED,配合使用可调节照明的强度,颜色和位置。

  • 产品型号:Nanotronics nSpec Macro
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-08-09
  • 访  问  量: 3313

产品分类

Product Category

相关文章

Related Articles

详细介绍

微流控缺陷检测产品简介

1、nSpec Macro是一种快速自动晶圆宏观检测仪,无论您有多特殊的晶圆检查要求,我们都能提供一系列解决方案来让您获得快速的结果。这种紧凑的系统设计用于对200 mm以下的晶圆进行高通量宏观检查。 以毫米为单位,nSpec Macro可以自动检测并量化从50到100微米的众多缺陷,这取决于视场或晶圆尺寸。
2、nSpec Macro可以照亮样品的整个面,或设置照明角度和/或离散照明矢量。 明场,暗场,正交和可配置的倾斜照明角度与可单独配置的LED,配合使用可调节照明的强度,颜色和位置。
3、该系统会自动导出CSV文件,并且与SECS / GEM兼容,也可以根据客户要求进行定制。

自动化晶圆处理功能

所有Nanotronicsn Spec Macros都装有满足行业标准要求的晶圆装载机。Nanotronics创造了末端执行器,可将整个单个晶圆和/或带有的晶圆加载进去。每个末端执行器都是根据客户的需求设计的。
光学特性
暗场照明模式照明角度:0度
倾斜照明模式照明角度:0至80度
明场照明模式照明角度:90度
正交照明模式照明角度:90度(通过镜头)
晶圆装载机
一次运行1个卡夹:标准H型卡夹
标准晶圆尺寸:50、75、100、150或200mm
控制软件
配方易于配置,并可以根据需要保存。可以按顺序进行多次扫描,并且在照射角度,强度和波长方面具有完全的灵活性。
系统参数
重量:62kg
尺寸(宽x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求:20 in.Hg
电源:110v / 220v,3.5安培


 

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7