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当前位置:首页  >  产品中心  >  晶圆缺陷检测  >  LAZIN  >  LODAS™ – AI50/100Photomask Blanks缺陷检查装置

Photomask Blanks缺陷检查装置

简要描述:LODAS™ – AI50/100是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。

  • 产品型号:LODAS™ – AI50/100
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2023-09-05
  • 访  问  量: 91

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详细介绍

列真株式会社自创业以来,秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念,为顾客提供可靠、可信的产品和服务。运用激光扫描技术,专门制造、销售半导体材料表面及内部检查、石英玻璃表面检查等检查装置。


特征:

  • 半导体用Photomask Blanks的出厂检查、工艺评价

  • 用微分干涉显微镜分析缺陷

  • 检查对象:Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi

  • 检查项目:颗粒、内部缺陷(Option)

  • 检查灵敏度:PDM缺陷尺寸0.1μm(AI00)

列真公司检查装置的维护、修理

  • 定期支持装置安装完成后的性能维持。

  • 24小时电话对应,全年无休的安心支持。

  • 认真对待客户新的要求。

  • 召开技术研讨会和充实各种手册,让顾客能够自行维护和更换零件。

  • 提供HDD、激光光源等消耗品的免费诊断服务。




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