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Photomask Blanks缺陷检查装置

简要描述:LODAS™ – BI8是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。

  • 产品型号:LODAS™ – BI8
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2024-01-19
  • 访  问  量: 506

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详细介绍

列真株式会社自创业以来,秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念,为顾客提供可靠、可信的产品和服务。运用激光扫描技术,专门制造、销售半导体材料表面及内部检查、石英玻璃表面检查等检查装置。

特征:

  • 可检查铬膜、半色调膜、光阻膜

  • 白缺陷、黑缺陷的自动判别

  • 不仅是表面缺陷,内部缺陷和背面缺陷也同时检查。

  • 有助于缺陷分析的4种Review图像。

  • “AI Classify"进行缺陷分类、好坏判定。

  • 免维护。

  • 世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合检查装置。

  • 能检出至今为止检查不出的缺陷。

检出缺陷:颗粒、划痕、凹坑、气泡。

规格:

  • 检查激光:405nm 200mW LaserDiode

  • 检查时间:180sec

  • 检查对象:6英寸 Photomask blanks

  • 设备尺寸:WxDxH=450x500x730mm

  • 使用电源:AC100V~200V 10A



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