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自动化SmartNIL紫外纳米压印光刻系统

简要描述:长达 150 毫米的自动化全场紫外纳米压印解决方案,采用 EVG 专有的 SmartNIL 技术

  • 产品型号:EVG720
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2024-03-19
  • 访  问  量: 532

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详细介绍

EVG720 系统利用 EVG 创新的 SmartNIL 技术和材料专业知识,实现微米级和纳米级结构的大规模制造。EVG720 系统采用 SmartNIL 技术,能够在大面积上打印小至 40 nm* 的纳米结构,具有较大的吞吐量和较低的拥有成本,非常适合下一代微流控和光子器件(如衍射光学元件 (DOE))的批量生产。

*分辨率取决于工艺和模板


特点


· 具有复制保真度的批量验证印记技术

· 成熟的SmartNIL技术与多用途聚合物冲压技术®

· 集成压印,UV固化脱模,和工作印章制作

· 自动磁带到磁带处理加上半自动化的研发模式

· 可选的顶部对齐

· 可选的迷你环境

· 开放平台的所有商业可用的印记材料

· 从研发到生产的可扩展性

· 系统外壳,最佳的过程稳定性和可靠性

product-720.jpg

技术数据

晶圆直径(衬底尺寸):75至150毫米

分辨率:≤ 40 nm(分辨率取决于模板和工艺)

过程支持:SmartNIL®

曝光源:大功率LED(i-线)> 40mW/cm²

对齐:可选顶部对中

自动分离:支持

迷你环境和气候控制:可选

工作印章制作:支持


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