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QuickOCT-4D —膜厚轮廓仪

简要描述:QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合,可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高达 100μm)和轴向分辨率 (5nm) 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2024-01-19
  • 访  问  量: 214

详细介绍

QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合,可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高达 100μm)和轴向分辨率 (5nm) 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。



系统特点

· 紧凑的台式装置,带环境外壳

· 单点、非接触式、可见光、光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器,测量速率高达 66 kHz

· 针对测量高反射材料上多层透明薄膜的形貌和厚度进行了优化

· 纳米编码的 X/Y/Z 运动,带有磁性直线电机和交叉滚子轴承,可在 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 上快速光栅或螺旋扫描

· 可用于样品和托盘固定的真空吸盘

· 用户友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、数据采集、表面形貌和多层薄膜分析软件允许优化测量采样密度,从而在最高通量下实现最佳覆盖


SD-OCT技术概述

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