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等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统

简要描述:Vision 410等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统--PTI 790+ 系列的延续,延续了服务于多样化市场的成功经验

  • 产品型号:Vision 410
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2025-07-30
  • 访  问  量: 38

详细介绍

1.灵活的沉积能力

·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统基于硅的沉积工艺-氧化物、氮化物、氧氮化物、非晶硅(a-Si)、碳化硅(SiC

·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统研究与开发

·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统原型制作

·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统小批量生产-光子学、固态照明MEMS和纳米技术

·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统应用领域:层间绝缘层、钝化层、封装层、掩模层、抗反射层


2.性能价值

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统1.大尺寸手动装载载物台(406mm)

2.出色的洁净度

3.高均匀性

4.高吞吐量 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统

5.可靠的软件

6.小巧的占地面积

7.具有成本效益

8.易于维护

9.采用行业头部组件


3.经过验证的解决方案

·延续了PTI 790/790+的设计理念

        o手动装载,无需负载锁(可支持批次或单片晶圆)

   o已安装超过400套系统

   o技术简单,结构坚固 价格具有竞争力,品质可靠


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小巧的占地面积,节省空间

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