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电容式位移传感器探头精准测量的“双引擎”驱动
2025-12-13

在半导体晶圆加工、精密机床主轴跳动检测、航空航天部件形变监测等高精度制造场景中,位移测量的精度直接决定产品良率与设备稳定性。Microsense作为电容式位移传感器品牌,通过被动式与主动式两大探头技术路线,构建起从亚纳米级到毫米级、从静态定...

  • 2025-08-13

    在半导体制造的精密世界里,硅片膜层厚度的微小偏差都可能导致器件性能衰减甚至失效。传统接触式测量方法因易划伤晶圆表面、无法实时监测等问题,逐渐被非接触式技术取代。近红外光(NIR)凭借其特殊的物理特性,成为硅片厚度测量仪的核心光源,为芯片制造、光伏产业等领域提供了兼具速度与精度的解决方案。一、穿透性与低吸收:NIR破解多层膜“透明迷宫”硅片表面常沉积有氧化硅、氮化硅、多晶硅等多层薄膜,传统可见光易被膜层吸收或反射,导致测量信号失真。近红外光(波长范围780-2500nm)的能量...

  • 2025-08-05

    动态激光干涉仪作为现代精密测量领域的仪器,其核心技术体系融合了光学、电子学和计算机科学的创新成果。该系统通过激光干涉原理实现纳米级动态测量,在半导体制造、精密光学和超精密加工等领域具有不可替代的作用。一、核心测量原理基于逊干涉仪的光路架构,采用频率稳定的氦氖激光源(波长632.8nm),通过分束镜产生参考光和测量光。当测量光经运动目标反射后与参考光干涉,形成的明暗条纹变化被高灵敏度光电探测器捕获。位移量计算公式为:ΔL=N×λ/2其中N为条纹计数,λ为激光波长。采用四象限探测...

  • 2025-08-01

    在工业设备减振领域,减振台座的高度设计常被视为"隐形调节阀",其微小变动可能引发系统减振性能的连锁反应。通过解析台座高度与振动传递路径、固有频率、结构稳定性的动态关系,可揭示这一参数在低频振动控制中的核心价值。一、高度与振动能量的博弈法则当台座高度从常规的150mm增至300mm时,振动传递路径长度增加1倍,能量衰减效率提升约15%。这种物理优势在低频振动场景中尤为显著:某石化企业离心泵项目中,通过将台座高度从设备高度的1/10调整至1/6,成功将10Hz以下振动幅值降低22...

  • 2025-07-29

    在半导体芯片制造、柔性显示面板生产、新能源电池封装等高级制造领域,薄膜厚度的均匀性是决定产品性能与良率的核心指标。传统测量方法受限于机械定位速度与单点检测模式,难以满足现代产线对"实时、全域、高速"的质量控制需求。而新一代自动化厚度测量仪凭借每秒两个点的测绘能力,以"动态扫描"替代"静态抽检",正在掀起一场薄膜检测技术的效率革命。一、极速测绘:技术突破的底层逻辑每秒双点测绘的实现,源于多维度技术协同创新:1.并行检测架构:采用双探头阵列或分时复用技术,在机械臂移动间隙完成数据...

  • 2025-07-27

    在半导体制造、光学镀膜、新能源材料等精密工业领域,薄膜厚度的均匀性与精确性直接决定了产品性能与良率。传统薄膜厚度测量依赖手动定位或固定点检测,存在效率低、数据覆盖不全、人为误差大等痛点。而搭载电动R-Theta平台的薄膜厚度测量仪,通过极坐标自动化扫描与高精度定位,实现了从“单点抽检”到“全域测绘”的跨越,为工业质量控制提供了革命性解决方案。一、R-Theta平台:极坐标扫描的精密之基电动R-Theta平台由旋转(Theta)与径向移动(R)双轴构成,可模拟极坐标系下的精准运...

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