白光干涉仪作为一种高精度光学测量设备，在纳米级平坦度检测与缺陷识别领域发挥着关键作用。其基于低相干干涉原理，通过宽带光源的干涉条纹分析，可实现亚纳米级垂直分辨率和微米级横向分辨率的表面形貌测量，尤其适用于半导体、光学元件及精密机械等领域的表面质量控制。在纳米级平坦度检测中，白光干涉仪通过垂直扫描干涉（VSI）模式，可精确获取样品表面的三维形貌数据。例如，在半导体晶圆制造中，晶圆表面的平坦度直接影响芯片的电性能与良品率。白光干涉仪能够快速扫描晶圆表面，生成高分辨率的形貌图，并通...

在纳米科技与精密制造领域，环境振动已成为制约高精度设备性能的核心瓶颈。Herz电镜防振台凭借其突破性的主动隔振技术，以毫秒级响应速度与全频段振动抑制能力，成为全球顶尖实验室保障设备稳定性的选择方案。1.核心性能：六自由度全频段隔振电镜防振台采用主被动复合隔振架构，其主动隔振系统覆盖1-200Hz频段，被动隔振系统则针对200Hz以上高频振动实现深度衰减。通过内置的压电加速度传感器与压电换能器，系统可实时捕捉六个空间方向的振动信号，并在5-20毫秒内生成反向补偿力，消除振动干扰...

在现代精密测量领域，白光干涉仪犹如一双超高分辨率的"电子眼"，能够捕捉物质表面微观结构的三维信息。这种基于光学干涉原理的仪器，以其亚纳米级的测量精度，成为材料科学、精密制造和光学检测等领域的重要工具。一、表面形貌的高清呈现白光干涉仪最核心的功能是三维表面形貌测量。它利用白光干涉原理，通过分析不同波长光的干涉条纹变化，可精确重建样品表面的微观形貌特征。测量分辨率可达0.1nm垂直精度和10nm水平分辨率，相当于在足球场上识别出蚂蚁的大小。在半导体芯片制造中，该技术可检测晶圆表面...

在精密测量领域，电容式位移传感器凭借其高灵敏度、抗干扰能力强等特点，成为工业自动化、精密制造等领域的重要工具。本文将梳理电容式位移传感器的典型类型及其主要应用场景。一、变间隙型：微观位移的高精度捕手1.工作原理：通过改变电容极板间距（d）实现测量，公式C=ε(A/d)表明，间距d的微小变化会引起电容显着波动。2.典型应用①半导体制造：检测晶圆厚度（精度达±0.03nm）、芯片封装过程中微小形变。②光学镜头调焦：实时监测镜头组件的位移量（0.01μm级），确保成像...

在精密测量领域，电容式位移传感器如同微观世界的"电子尺"，通过检测电容极板间距离变化实现高精度测量。这种传感器以特殊的电容调谐原理，构建起从微米到纳米级的测量范式，其精度可达头发丝直径的千分之一。一、距离变化引发电容效应电容式位移传感器的核心原理基于平板电容器的结构特性。由固定极板与可移动极板组成的电容单元，其电容量C=ε（A/d），其中ε为介质介电常数，A为极板正对面积，d为板间距。当移动极板与固定极板间距d改变0.01μm时，在30pF基准电容下，输出电容变化量ΔC可达1...