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非接触式高精度位移测量,位移传感器的技术突破与应用实践
2025-05-09

位移传感器作为工业自动化与精密制造的核心组件,其非接触式高分辨率近距离测量技术正推动制造业向智能化、高精度方向演进。基于电容、激光、电磁等原理的非接触式传感器,通过消除机械磨损与环境干扰,实现了亚微米级位移测量,广泛应用于半导体加工、航空航...

  • 2023-02-20

    奥地利EVGroup(EVG)宣布,为形成手机用相机模块高耐热镜头,芬兰HeptagonOy采用了EVG的光刻机(MaskAligner)“IQAligner”。EVG高级副总裁HermannWaltl表示,Heptagon采用的是支持300mm晶圆的装置。该装置已提供给Heptagon的制造子公司——新加坡HeptagonMicro-OpticsPte。Heptagon是于1993年成立的风险企业,目的是将芬兰赫尔辛基大学与瑞士约恩苏大学的微型光学元件的研究成果投入实用。该...

  • 2023-02-20

    在微电子、纳米、半导体领域为晶片接合和光刻技术提供设备技术方案的供应商EVG近期推出了NT系列光刻机和对准测试机,这是一个全新的、已经被生产厂家验证过的新型光刻曝光机以及晶圆对晶圆(W2W)接合曝光和测试系统,可满足用户对更高光刻精度的需求。业内向更小结构和更密集封装生产转型的趋势带来了众多的新挑战,如对更高精度的要求,因为这将严重影响设备的偏差律,并最终影响生产效率和增加成本。新的EVGNT系列光刻机对准机可极大提高对准精度-范围从1微米至0.1微米-从而为生产厂家在先进微...

  • 2023-02-20

    一、简介第四次工业革命以数年前尚不存在的技术席卷了我们的生活,其中一些在几十年前甚至无法想象。自动驾驶汽车已经在公共街道上进行测试;无人机正在调查地形,拍摄视频,派发包裹;由专业人士和业余爱好者创建的大量视频内容正在被拍摄和发布;固定和移动监视变得司空见惯;服务器的体量变得惊人的庞大,4G网络正在被5G补充或替代。所有这些趋势的共同之处在于,它们生成的大量数据必须比以往任何时候更快、更可靠地进行处理、传输和存储。上述这些新应用中,许多将需要高级逻辑器件来实现更高的功耗和处理速...

  • 2023-02-17

    纳米压印光刻系统制造商SwissLithoAG今天宣布一种联合解决方案,可以生产最小到单纳米级的3D结构。该方案最初在由欧盟第七框架计划资助的“超越CMOS器件的单纳米制造(SNM)”项目中得到证明,该方案涉及SwissLitho的新型NanoFrazor热扫描探针光刻系统,以生产具有3D结构的主模板用于纳米压印光刻系统和EVG。目标应用:EVG和SwissLitho最初将以联合解决方案为目标,以开发衍射光学元件和其他相关光学组件,以支持光子学,数据通信,增强/虚拟现实和其他...

  • 2023-02-16

    光刻技术是将二维图案转印到平坦基板上的方法。可以通过以下两种基本方法来实现图案化:直接写入图案,或通过掩模版/印章转移图案。设定的图案可以帮助生成衬底上的特征,或者可以由沉积的图案形成特征。通过计算机辅助设计(CAD)定义图案模式。多数情况下,这些特征是使用抗蚀剂形成的,可以使用光(使用光致抗蚀剂),电子束(使用电子束抗蚀剂)或通过物理压印(不需要抗蚀剂,也叫纳米压印)来定义图案特征。图案的特征可以被转移到一个基板,再进行蚀刻,电镀或剥离。1.技术领域根据所需的特征,有几种不...

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