光学轮廓仪是一款便捷的、精确的、实用的非接触三维形貌测量系统。它建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光垂直扫描干涉测量（CSI）)等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。在发展初期，光学轮廓仪主要采用传统的光学成像技术，通过镜头和传感器来获取物体的轮廓信息。...

光刻技术与我们的生活息息相关，我们用的手机，电脑等各种各样的电子产品，里面的芯片制作离不开光科技束。如今的世界是一个信息社会，各种各样的信息流在世界流动。而光刻机是保证制造承载信息的载体。在社会上拥有不可替代的作用。光刻机的技术原理：光刻机就是把芯片制作所需要的线路与功能区做出来。利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上得图形复印到薄片上，从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻机的作用，类似照相机照相。照相机拍摄...

一、特点固有振动频率是指某种物体共振的频率，阻尼则是指在振动运动中消除能量、以减轻振动的特点。固有振动频率与地基振动的振动频率比（f/fn）称作振动传递率，是判定隔振效果的标准。固有振动频率愈小、地基振动频率愈大，隔振台的隔振效率愈高。也就是说，振动传递率愈低，隔振效果愈佳。振动频率比(f/fn)低于1.414时为增幅，数值为1时固有振动频率与地基振动频率相同，高于1.414则实现隔振。隔振台一般分为线圈弹簧(CoilSpring)和空气弹簧(AirSpring)两种，线圈弹...

HERZ是闻名的隔振台系统方案供应商之一。在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境，以发挥仪器的最佳效能，达到最佳成果。从高层次的研究乃至各个行业的基本生产，要想有效地发展纳米技术，消除振动尤为重要！在过去的40年里，HERZ已发展成为被动式隔振设备的主流供应商，在该领域积累了丰富经验。与此同时，测量技术有了很大进步，一些灵敏的设备会受到被动式隔振系统中低频共振频率的干扰，此类干扰唯有主动式隔振系统能够消除。因此，HERZ在被动式隔振系统产...

接下来为大家介绍ThetaMetrisis膜厚仪在氧化钇(Y2O3)涂层厚度方面的测量应用。ThetaMetrisis膜厚仪可快速准确地绘制大尺寸氧化铝陶瓷圆盘上的抗等离子涂层Y2O3厚度。1、案例介绍集成电路特征尺寸的持续缩小，对化学机械抛光后的平整度要求日益提高。氧化钇(Y2O3)是一种非常有前景的抗等离子涂层材料，可作化学机械抛光(CMP)磨料，应用十分广泛。因其优异的温度稳定性和对具有高氧亲和力的碱性熔体的出色耐受性，Y2O3被用在许多特殊材料上，例如绝缘体、玻璃、导...