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在半导体制造、光学薄膜研发及精密涂层检测等领域,薄膜厚度与光学参数的精准测量是保障产品质量与性能的关键环节。Thetametrisis薄膜厚度测量仪(如FR-Scanner系列)凭借其高度集成的光学模块设计,成为这一领域的标准设备——其光学...
面向MEMS,纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的LINGXIAN供应商EVGroup(EVG)近日推出了IQAlignerNT,它是针对大批量先进封装应用的新的,先进的自动掩模对准系统。新型IQAlignerNT具有高强度和高均匀度的曝光光学器件,新的晶圆处理硬件,可实现全局多点对准的200mm和300mm晶圆WANQUAN覆盖范围以及优化的工具软件,从而使生产率提高了2倍与EVG上一代IQAligner相比,对准精度提高了2倍。该系统超越了晶圆凸块和其他后端光刻应用...
奥地利EVGroup(EVG)宣布,为形成手机用相机模块高耐热镜头,芬兰HeptagonOy采用了EVG的光刻机(MaskAligner)“IQAligner”。EVG高级副总裁HermannWaltl表示,Heptagon采用的是支持300mm晶圆的装置。该装置已提供给Heptagon的制造子公司——新加坡HeptagonMicro-OpticsPte。Heptagon是于1993年成立的风险企业,目的是将芬兰赫尔辛基大学与瑞士约恩苏大学的微型光学元件的研究成果投入实用。该...
在微电子、纳米、半导体领域为晶片接合和光刻技术提供设备技术方案的供应商EVG近期推出了NT系列光刻机和对准测试机,这是一个全新的、已经被生产厂家验证过的新型光刻曝光机以及晶圆对晶圆(W2W)接合曝光和测试系统,可满足用户对更高光刻精度的需求。业内向更小结构和更密集封装生产转型的趋势带来了众多的新挑战,如对更高精度的要求,因为这将严重影响设备的偏差律,并最终影响生产效率和增加成本。新的EVGNT系列光刻机对准机可极大提高对准精度-范围从1微米至0.1微米-从而为生产厂家在先进微...
一、简介第四次工业革命以数年前尚不存在的技术席卷了我们的生活,其中一些在几十年前甚至无法想象。自动驾驶汽车已经在公共街道上进行测试;无人机正在调查地形,拍摄视频,派发包裹;由专业人士和业余爱好者创建的大量视频内容正在被拍摄和发布;固定和移动监视变得司空见惯;服务器的体量变得惊人的庞大,4G网络正在被5G补充或替代。所有这些趋势的共同之处在于,它们生成的大量数据必须比以往任何时候更快、更可靠地进行处理、传输和存储。上述这些新应用中,许多将需要高级逻辑器件来实现更高的功耗和处理速...
纳米压印光刻系统制造商SwissLithoAG今天宣布一种联合解决方案,可以生产最小到单纳米级的3D结构。该方案最初在由欧盟第七框架计划资助的“超越CMOS器件的单纳米制造(SNM)”项目中得到证明,该方案涉及SwissLitho的新型NanoFrazor热扫描探针光刻系统,以生产具有3D结构的主模板用于纳米压印光刻系统和EVG。目标应用:EVG和SwissLitho最初将以联合解决方案为目标,以开发衍射光学元件和其他相关光学组件,以支持光子学,数据通信,增强/虚拟现实和其他...