美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备：在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。

美国FSM 高温薄膜应力及基底翘曲测试设备：美国FSM成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备。

专为透明材料微区应力测量设计，集成瞬时光弹测量与多波长，搭配双远心视觉引导，实现全自动测量。具备微米级横向分辨率与亚纳米级应力灵敏度，可清晰呈现TGV通孔区域应力分布

晶圆或者基板内应力高精度高解析度定量测量和缺陷检测

专用于精确测量晶圆的三维翘曲度和薄膜应力，提高芯片制造的良率，保障薄膜制备工艺的可靠性

StrainScope Flex可调式实时应力仪 产品具有测量速度快、精度高、重复性好等特点，对大尺寸样品可拼接测量。其应力测量设备用户包括肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。应用领域包括光学材料、医用包装材料、高分子类密封材料等。