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3D-Micromac 公司的 microPOLAR 激光微加工系统专为加工高折射率玻璃及其他透明晶体材料而设计。其的玻璃切割能力使其成为基于晶圆的增强现实（AR）波导分离与单片化处理的理想选择。该系统高度灵活，并支持现场升级，既适用于研发用途，也能实现高良率的大规模量产。
亮点
•现场升级能力
•单位成本低
•批次尺寸与形状选择灵活
•避免边缘损伤和崩边
•玻璃单片化后具有高抗弯强度
•占地面积小
microPOLAR™ - 系统概述
microPOLAR 激光系统基于专为高通量大规模生产而设计的设备平台。其模块化设计支持现场升级，因此是增强现实（AR）等新兴技术的理想选择。
microPOLAR的激光切割工艺专为切割用于增强现实（AR）设备的高折射率晶圆而开发。因此，我们在工艺研发中特别注重实现抗弯强度。该工艺可有效避免加工过程中的边缘损伤、崩边以及颗粒产生。低零件公差只是这一高度专业化激光切割工艺的众多优势之一。
多种上下料和检测选配方案的可用性，使该系统能够作为高效能的生产平台使用。它可轻松集成到生产线中，并提供机器人或人工上下料等多种操作选项。
| microPOLAR M | microPOLAR A | microPOLAR A2 | |
| 典型应用 | 用于AR设备的波导 | ||
| 生产效率水平 | •研究与开发* •试生产* | 量产* | •量产* •大规模生产* |
| 材料 | •SCHOTT RealView® (1.7; 1.8; 1.9; 1.9 轻量化) •HOYA •CORNING (1.7-2.0 RI) •其他透明晶体材料 (例如 LiNbO3) | ||
| 基板尺寸 | •裸晶圆: 12“ •贴膜晶圆: 8“ | ||
| 激光加工模块 | •改性 •分离 | •改性 •分离 | •2X改性 •2X分离 |
| 附加模块 | •手动上下料 •质量检测 | •通过 EFEM 输入 •质量检测 •自动卸载至料盘 •通过 EFEM 输出 | |
| 计量 | •自动对准 | ||
| microMMI 软件 | •控制并监控所有硬件组件及加工参数 •多级用户权限（管理员、主管、操作员） •数据输入文件格式：DXF、CSV、Gerber、CLI，其他格式可按需提供 | ||
| 安全 | •符合激光1类安全标准的防护外壳，集成控制面板 •全景摄像头（网络摄像头） | ||
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