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用于欧姆接触形成的高速紫外激光退火 microPRO XS OCF 系统提供了一个多功能平台,可实现高重复性和高吞吐量的激光退火。该系统将稳定的激光光学模块与3D-Micromac的模块化处理平台相结合,非常适合用于碳化硅(SiC)功率器件的欧姆接触形成(OCF)。
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