microMIRA 激光剥离（LLO）系统可在高速加工条件下，实现晶圆上不同薄膜层高度均匀且无机械应力的剥离。由于氮化镓（GaN）基MicroLED通常利用蓝宝石衬底与其相似的晶体结构进行外延生长，因此大多数GaN基MicroLED都生长在蓝宝石上。然而，从蓝宝石这类透明且昂贵的材料上进行剥离是一项重大挑战，只有激光技术才能在保证合理生产效率的前提下实现这一工艺。microMIRA 激光系统特别适