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Product Category详细介绍
专为测量旋转对称样品的表面形貌和透明薄膜的厚度而设计,如金刚石车削光学表面和模塑或抛光的非球面透镜:
•非接触、高分辨率的高速彩色共聚焦点传感器
•高精度对中/倾斜工作台,带可调压电杆探头,可快速轻松地对齐样品/卡盘/夹具
•纳米编码C/R/Z (旋转, 径向, 垂直)运动,具有直接驱动旋转-空气轴承 (C轴)和直接驱动线性机械轴承(R&Z轴)
•花岗岩底座,具有尺寸稳定的因瓦合金计量框架
示例数据:
•样品是具有衍射功能的DPT非球面
•在QuickPRO-RPS上测量
•移除多项形状后显示的数据
- 非球面凹陷约为800µm
- 衍射台阶高度约为1µm
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