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全光谱椭圆偏光测厚仪SE950

简要描述:Raditech致力于光学检测设备,在光学量测设备领域专业度高、能提供整合性解决方案。推出第一台国人自制的「全光谱椭圆偏光量测仪」及「全光谱反射式膜厚量测仪」,能协助产业界迈向更精密化、更微细化,技术与国际大厂并驾齐驱,产品精确度高、价格具竞争力,稳健迈向国内自制最高质量之精密光学量测设备制造商。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2024-04-03
  • 访  问  量: 87

详细介绍

优势:

1、微光斑功能: 标准配置微光斑 光斑尺寸80x120微米。特殊光学设计与研磨级高精度Z轴搭配可自动移除透明衬底背面反射.对焦过程中可自动判定膜层的对焦位置,并通过光学狭缝克服透明衬底背后反射

2、采用讯号自动对焦,量测讯号与对焦讯号为同一讯号 有效避免量测的位置误差。

3、检偏器自动追踪:大幅提升椭偏仪量测精度,特别有利于极薄膜层的材料分析以及ψ与Δ之精度

4、电动自动可调变衰减片:可自动或手动调整不同样品讯号饱和程度(100%~0.1%),并可分段设置UV讯号与可见光讯号强度以便获取最佳量测讯号

5、软件自动分析拟合:提供膜厚 折射率预分析功能,未知材料的数据库比对能力,软件自动分析简化操作,克服椭偏仪一向由专业人士操作带来的量测困难。

6、远程遥控:突破椭偏仪需到场服务与培训之限制,大幅提升售后服务之效率

7、高质量DUV光谱仪: 光谱范围220nm-1100nm,(可选配至1700nm)分辨率<1nm 自带半导体制冷,高动态比,讯噪比尽可能的减小噪声影响

8、自动生成2D或3D Mapping 图谱并自动数据分析,光谱自动保存,数据可汇总及上传

9、以recipe设置 测试时间大幅缩短至1-3秒,提高测试效率。

10、设计上 采用抗紫外钝化光纤双光纤结构,先进的断开功能,大幅提升光谱稳定性和长期使用的可靠性。

11、高稳定性 标准片 膜厚重复性精度<0.5A,折射率重复精度<0.0005

12、膜厚测试范围1nm-20微米 可针对透明或不透明衬底测试

13、免费建模


规格:

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光学原理:

光波从接触到光学组件表面,到离开光学组件表面的短暂时间里,其偏极状态(polarization state)一定会改变。椭圆偏光仪,既是一种用来量测光波穿透光学组件,或从光学组件表面反射前后偏极状态改变情形的仪器。由于此种偏极状态的改变是光波与光学组件材料产生交互作用的结果,因此可由偏极状态的改变情形,反推得到光学组件表面的物理特性。这里所谓的光学组件表面有可能是光学组件的表面,也有可能是单层膜或多层膜的堆栈,也可能是光学组件表面的污染层。
光藉由非零度入射角至样品表面而反射, 因为样品的厚度及对光的反应(吸收或透明…)而产生极化状态的改变(产生相位及振幅的改变),此量测方式我们称为椭圆仪量测。量测时对于每个波长,我们得到两个独立的参数Ψ and △

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