欢迎来到岱美仪器技术服务(上海)有限公司网站!
岱美仪器技术服务(上海)有限公司
咨询热线

4008529632

当前位置:首页  >  产品中心  >  膜厚仪  >  Thetametrisis膜厚仪  >  FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

简要描述:FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自动薄膜厚度测绘系统,用于全自动图案化晶圆上的单层和多层涂层厚度测量。电动X-Y载物台提供适用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程,通过真空固定在载台上时进行精确测量。可依测量厚度和波长范围应用需求可在在 200-1700nm 光谱范围内提供各种光学配置

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2024-04-08
  • 访  问  量: 138

详细介绍

产品简介:

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模块化厚度测绘系统集成了光学、电子和机械模块,可兼用于对无图形和图形薄膜(例如微图形表面、粗糙表面)进行精确测量 。

将晶圆放置在真空吸盘上(晶圆尺寸直径≤300mm)并配备反射率标准件。 由功能强大的光学模块执行测量,光斑尺寸小至几微米。电动平台提供XY方向 300 毫米的行程,在速度、精度和可重复性方面具有优秀的性能

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 实时反射率光谱测量

o 薄膜厚度、光学特性、非均匀性测量、厚度测绘

o 使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像

o 测量参数广泛统计数据

o 半自动图案对准功能用于测量周期性图形区域

o 不一样的软件功能,例如:Click2Move (萤幕点击定位量测点)、比例尺


附件:

  • FR-AutoFocus:100mm 长线性轴,用于自动对焦,具有两种操作模式:图像对焦(对比度)/ 反射强度

  • Rotation Module:旋转模块电动平台提供高的分辨率和精度

  • FR-FilterWheel:电动滤光轮模块带有可容纳 12 个滤光片的插槽由计算机自动控制: 滤光片尺寸:直径0.5英寸,最多6个过滤器(1英寸)

  • FR-AutoTurret:自动转塔由计算机控制可容纳 4 个物镜:镜头切换速度约为 1.0-3.0 秒

  • Lenses:长工作距离 VIS/NIR 镜头: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X

  • 反射式 UV/NIR 镜头: 10X, 15X, 25X, 40X

  • Pump:低噪音真空泵,2.5L/min,真空度-60kPa.

  • Chucks:6 英吋光掩模卡盘6 英吋带参考片区域 ,多晶圆卡盘(100-300 毫米和不规则形状片),包括参考区域和暗区,用于自动基准


规格:

屏幕截图 2024-03-25 104700.png


二维厚度图:

FR-Scanner XY-300_1.jpg

3D厚度图:

FR-Scanner XY-300_2.jpg


测量原理:屏幕截图 2024-03-25 105726.png




产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7