
详细介绍
在追求更高集成度、更优性能和更小体积的先进封装领域,玻璃通孔(Through Glass Via, TGV)技术正成为硅通孔(TSV)的理想替代方案。3D-Micromac 凭借其激光技术,为您提供一套高品质、高效率、高灵活性的 TGV 制造解决方案。玻璃通孔制造解决方案
●高定位精度与优异的重复精度相结合
●优异的几何形貌
●小孔径与高深宽比
●低表面粗糙度
●兼容多种材料与宽广的工艺窗口
•圆度:> 97 %
•孔径:10 - 150 µm
•材料厚度:100 至 1,500 µm
•腰径/顶径: > 0.9
•深宽比:高达 70:1
•表面粗糙度:< 300 nm

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