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FR-Ultra NIR N3 晶圆厚度测量系统

简要描述:FR-Ultra 是一款专用于精确测量半导体以及介电材料超厚层的专用设备。 藉由先进的光学器件,FR-Ultra 可以测量光滑或粗糙的薄膜以及较厚的基材。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2024-03-19
  • 访  问  量: 458

详细介绍

FR-Ultra 是一款专用于精确测量半导体以及介电材料超厚层的专用设备。 藉由先进的光学器件,FR-Ultra 可以测量光滑或粗糙的薄膜以及较厚的基材。


典型应用包括:厚玻璃的厚度测量(厚度可达 2 毫米,透明或雾面)晶圆厚度测量(例如直径达 12 英寸的单面或双面抛光晶圆)。


FR-Ultra可以很容易地与笛卡尔坐标系和极坐标结合,用于大面积的厚度测量。


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硅片厚度分布图(12英寸)


特点:

o 单击分析(无需输入初始预估值)

o 动态测量

o 内建700种以上不同材料

o 可安装多个离线分析软件

o 免费软件更新


FR-Ultra NIR N3 中文版正式.jpg



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