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FR-Mic 多层膜厚度测试仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,可以将光斑缩小到几个微米,进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。
硅片厚度测量仪采用的是近红外光(NIR)来测量膜层厚度,因此可以测试一些肉眼看是不透明的膜层( 比如半导体膜层) 。