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显示器薄膜测量

简要描述:显示器薄膜测量仪独特的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此,在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。

  • 产品型号:FR-Scanner
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-12-15
  • 访  问  量: 44

详细介绍

  Thetametrisis显示器薄膜测量仪 FR-Scanner 是一种紧凑的台式工具,适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快速和准确测量薄膜特性:厚度,折射率,均匀性,颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。
 
  1、应用
 
  半导体生产制造:(光刻胶, 电介质,光子多层结构, poly-Si, Si, DLC, )
 
  光伏产业
 
  液晶显示
 
  光学薄膜
 
  聚合物
 
  微机电系统和微光机电系统
 
  基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
 
  Thetametrisis显示器薄膜测量仪独特的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此,在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。
 
  Thetametrisis显示器薄膜测量仪 FR-Scanner 通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法,可以在很短的时间内记录具有高重复性的精确反射率数据,这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。
 
  2、特征
 
  单点分析(不需要预估值)
 
  动态测量
 
  包括光学参数(n和k,颜色) o 为演示保存视频
 
  600 多种的预存材料
 
  离线分析
 
  免费软件更新

  3、性能参数
 

 

  4、测量原理
 
  白光反射光谱(WLRS)是测量从单层薄膜或多层堆叠结构的一个波长范围内光的反射量,入射光垂直于样品表面,由于界面干涉产生的反射光谱被用来计算确定(透明或部分透明或完全反射基板上)的薄膜的厚度、光学常数(n和k)等。

 

 
  1、样片平台可容纳任意形状的样品。450mm平台也可根据要求提供。真正的X-Y扫描也可能通过定制配置;
 
  2、硅基板上的单层SiO2薄膜的厚度值。对于其他薄膜/基质,这些值可能略有不同;
 
  3、15天平均值的标准差平均值。样品:硅晶片上1微米的二氧化硅;
 
  4、2 X (超过15天的日平均值的标准偏差)。样品:硅晶片上1微米的二氧化硅;
 
  5、测量结果与校准的光谱椭偏仪比较;
 
  6、根据材料;
 
  7、测量以8 "晶圆为基准。如有特殊要求,扫描速度可超过1000次测量/每分鐘;
 
  如果您想要了解更多关于Thetametrisis膜厚仪的产品信息,请联系我们岱美仪器。
 

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