FR-InLine-在线薄膜厚度测量仪

1、简述

FR-InLine 是一款模块化可扩展的在线薄膜厚度测量仪（膜厚仪），可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。

FR-InLine 在线薄膜厚度测量仪(膜厚仪)并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量，例如：反射率和透射率光谱、厚度、色座标。

FR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。

2、产品应用

• 透明和半透明涂层

• 眼镜上的涂层

• 食品工业

• 光学薄膜

• 包装

• 粘合剂

• 聚合物

• 可挠式电子和显示器

• 其他各种工业……

（联系我们了解您的应用需求）

3、产品特征

FR-InLine 膜厚仪提供半宽（蕞多 4 通道）和全宽（蕞多 8 通道）3U 机架安装机箱，可实时测量涂层的薄膜厚度。 FR-InLine 通过标准I/控制埠为启动/停止/复位功能提供外部触发选项。测量数据可立即供其他软件使用，以进一步调整生产流程。工程师可以轻易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附带多个附件，例如：

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求长度和配置的反射探头和光纤

§光学模块（例如聚焦透镜、运动支架），以协助探头安装在产线上

5、其他特点

提升流程运行时间和产品质量

减少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 规格（标准配置）

Model	UV/Vis	UV/NIR-EXT	VIS/NIR	NIR	NIR-N1
WLRange–nm波长	200–850	200–1020	370–1020	900–1700	850-1050
Pixels像素	3648	3648	3648	512	3648
ThicknessRange*1	3nm-80um	3nm-90um	15nm-90um	200um	1um-400um
n&k-MinThick	50nm	50nm	100nm	500nm
Thick.Accuracy*2	1nm/0.2%	1nm/0.2%	1nm/0.2%	3nm/0.4%	50nm/0.2%
Thick.Precision*3,4	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.1nm
Thick.stability*5	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.15nm
LightSource	ExternalDeuterium&Halogen,2000h		Halogen(internal)3000h(MTBF)
IntegrationTime	5msec(min)			5msec(min)
Spotsize	Diameterof350um (smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest)
MaterialDatabase		>700differentmaterials
Connectivity			USBorTCP/IP
Power		100-240V50-60Hz

注：

*1、规格如有变更，恕不另行通知

*2、与校正过的光谱椭偏仪和x射线衍射仪的测量结果匹配

*3、超过15天平均值的标准偏差平均值，样品:硅晶片上1微米Si2

*4、标准偏差100次厚度测量结果，样品:硅晶片上1微米Si2,

*5、15天内每日平均值的2*标准差。样品:硅片上1微米Si2。