FR-uProbe-LC: 可测量小至几微米的光斑尺寸应用，例如微图案表面、高粗糙度表面的样品等等只需单击鼠标即可在 Vis/NIR波长范围中测量微小区域薄膜厚度、光学常数、反射率、透射率和吸光度

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自动薄膜厚度测绘系统，用于全自动图案化晶圆上的单层和多层涂层厚度测量。电动X-Y载物台提供适用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程，通过真空固定在载台上时进行精确测量。可依测量厚度和波长范围应用需求可在在 200-1700nm 光谱范围内提供各种光学配置

系统可以为各种材质薄膜提供高精度的厚度均匀性测量。使用创新的融合光谱反射技术、近红外干涉技术以及高亮度光源驱动的光谱椭偏仪技术的多传感器融合测量技术，是国内可以实现同质膜厚全自动检测的系统。

QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 （SD-OCT） 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合，可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高达 100μm）和轴向分辨率 （5nm） 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。

硬化涂层膜厚仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。

FR-InLine 是一款模块化可扩展的在线薄膜厚度测量仪（膜厚仪），可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。$nFR-InLine 膜厚仪并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量，例如：反射率和透射率光谱、厚度、色座标。$nFR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。