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  • EVG805EVG805半自动解键合机 键合剥离 临时键合

    EVG805半自动解键合机 键合剥离 临时键合是一种半自动系统,用于剥离临时键合和加工的晶圆堆叠,包括器件晶圆,载体晶圆和中间临时键合胶。该工具支持热剥离或机械剥离。薄晶圆可以卸载在单个基板载体上,以便在工具之间安全可靠地转移。

    更新时间:2020-04-15
    型号:EVG805
    厂商性质:代理商
    浏览量:457
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