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FR-Mic全自动带显微镜多点测量膜厚仪
EVG810 LT 低温等离子活化系统
等离子去胶
OptoScan 600光学粗糙度测试仪
microVEGA® FC激光微加工
microPRO™ XS OCF激光退火
Microsense电容式位移传感器探头
Vision 310等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统
Vision 410等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统
FR-uProbe-LC光学显微镜适配器
Raditech全光谱椭圆偏光测厚仪SE950
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
Stefan Mayer MR-3 主动消磁系统
IQ Aligner NTEVG仪器自动掩模对准系统
LAS-XUP-VIS™ 定心仪（偏心仪）
LAS-UP-VIS™ 定心仪（偏心仪）
LAS-BT-VIS™ NextGen 定心仪（偏心仪）
UltraFilm - 薄膜测量系统