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CI8化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置
EVG7300多功能紫外纳米压印光刻系统
TS-150高精度主动减振平台
KOSAKA - ET200A台阶仪
FSM 128薄膜应力及基底翘曲测试设备
EVG805-薄晶圆解键合系统
EVG805解键合晶圆键合机
PhaseCam 4030动态激光干涉仪
PhaseCam 6010Twyman-Green高性能动态干涉仪
FSM413红外激光测厚仪
Microsense 5810/6810电容式位移传感器
FR-Mic全自动带显微镜多点测量
FSM 500TC高温薄膜应力及基底翘曲测试设备
DVIA-TDaeil 台式主动防振台
FR-Mic全自动带显微镜多点测量膜厚仪
EVG810 LT 低温等离子活化系统
等离子去胶
OptoScan 600光学粗糙度测试仪