失效分析与样品制备 卷对卷激光加工 激光退火 激光切割 激光钻孔 激光修调 巨量转移 激光剥离

Thetametrisis膜厚仪 光学相干断层扫描 硬化涂层膜厚仪 Filmetrics膜厚仪

OATI定心仪

薄膜电阻测量仪

UV-NIL/SmartNIL紫外压印 纳米压印母版制作系统

对准设备 晶圆键合机 直接键合设备 临时键合/解键合 金属键合设备

掩模对准曝光机 光刻胶处理系统

平面度量测 应力量测

Herz TDI气浮式被动防震台 Herz AVI系列主动防震台 Herz 电镜隔振台 Stefan Mayer主动消磁系统 DAEIL DVIA-T主动防振台

硅片厚度测量仪 半自动晶圆厚度测量

FSM应力仪 ilis应力仪

白光干涉仪 彩色共聚焦轮廓仪 晶圆形貌和参数检测

FilmSense 椭偏仪

KOSAKA台阶仪

全自动AOI系统 双2D AOI系统 LAZIN

PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

综合形貌与缺陷分析系统 高速全晶圆扫描系统

Microsense 位移传感器

通用磁性测量系统 晶圆级磁性能测试系统

微波等离子清洗

LAZIN系列 超声无损检测系统

化学气相沉积系统