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TS-150高精度主动减振平台
KOSAKA - ET4000台阶仪
KOSAKA - ET200A台阶仪
PLS-F1002晶圆几何形貌及参数红外干涉自动检测机
FSM 128薄膜应力及基底翘曲测试设备
EVG805-薄晶圆解键合系统
EVG805解键合晶圆键合机
PhaseCam 4030动态激光干涉仪
PhaseCam 6010Twyman-Green高性能动态干涉仪
FSM413红外激光测厚仪
Microsense 5810/6810电容式位移传感器
Nano X-2000S白光干涉仪
RTEC 白光干涉仪+共聚焦一体机
PLS-F1000/F1002晶圆几何形貌及参数自动检测机
FR-Mic全自动带显微镜多点测量
FSM 500TC高温薄膜应力及基底翘曲测试设备
FS-1FilmSense多波段椭偏仪
DVIA-TDaeil 台式主动防振台