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EVG805解键合晶圆键合机
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PhaseCam 6010Twyman-Green高性能动态干涉仪
FSM413红外激光测厚仪
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Microsense 5810/6810电容式位移传感器
Nano X-2000S白光干涉仪
RTEC 白光干涉仪+共聚焦一体机
PLS-F1000/F1002晶圆几何形貌及参数自动检测机
FR-Mic全自动带显微镜多点测量
FSM 500TC高温薄膜应力及基底翘曲测试设备
FS-1FilmSense多波段椭偏仪
DVIA-TDaeil 台式主动防振台
QuickPRO-CUBE非接触式三维形貌仪