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Vision 410等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统
FR-uProbe-LC光学显微镜适配器
Raditech全光谱椭圆偏光测厚仪SE950
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
Stefan Mayer MR-3 主动消磁系统
EVG IQ Aligner NT仪器自动掩模对准系统
LAS-XUP-VIS™ 定心仪（偏心仪）
LAS-UP-VIS™ 定心仪（偏心仪）
LAS-BT-VIS™ NextGen 定心仪（偏心仪）
UltraFilm - 薄膜测量系统
UltraShape - 晶圆关键尺寸测量系统
UltraINSP - 晶圆表面缺陷检测系统
MESA系列 磁性测量系统
WLA-5000 - 磁传感器晶圆水平仪
WLA-3000 晶圆水平仪
LAS系列组装和检查红外系统 定心仪（偏心仪）
UltraINSP 晶圆表面缺陷检测系统
UltraFilm薄膜测量系统