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UltraShape - 晶圆关键尺寸测量系统
UltraINSP - 晶圆表面缺陷检测系统
MESA系列 磁性测量系统
WLA-5000 - 磁传感器晶圆水平仪
WLA-3000 晶圆水平仪
LAS系列组装和检查红外系统 定心仪(偏心仪)
UltraINSP 晶圆表面缺陷检测系统
UltraFilm薄膜测量系统
FR-Ultra NIR N3 晶圆厚度测量系统
QuickOCT-4D--膜厚轮廓仪
QuickPRO-RPS--旋转剖面仪
QuickPRO-3D--表面轮廓仪
QuickOCT-4D —膜厚轮廓仪
iFocus晶圆检测系统
EVG720自动化SmartNIL紫外纳米压印光刻系统
FR-Mic:全自动带显微镜多点测量膜厚仪
FR-InLine-在线薄膜厚度测量仪
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自动化高速薄膜厚度测量仪