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QuickOCT-4D —膜厚轮廓仪
iFocus晶圆检测系统
EVG720自动化SmartNIL紫外纳米压印光刻系统
FR-Mic：全自动带显微镜多点测量膜厚仪
FR-pRo：Thetametrisis膜厚测量仪
FR-InLine-在线薄膜厚度测量仪
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自动化高速薄膜厚度测量仪
FR-Ultra晶圆厚度测量系统
FR-ES精简薄膜厚度测量仪
EVG850 TB自动化临时键合系统
EVG620 NT掩模对准光刻机系统
LODAS™ – LI系列FPD Photomask缺陷检查装置
LODAS™ – BI12GlassWafe缺陷检查装置
LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷检查装置
LODAS™ – AI50/100Photomask Blanks缺陷检查装置
FR-Ultra 晶圆厚度测量系统
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150自动化高速薄膜厚度测量仪
WM 300光学粗糙度测试仪